FZ полированные кремниевые пластины 150мм

Доступность:

Доступно для предзаказа


Артикул: n/a

FZ полированные кремниевые пластины диаметром 150мм

Монокристаллические пластины кремния с плавающей зоной FZ представляют собой чистый кремний сверхнизкой концентрации кислорода и углерода, выращенный по технологии плавающей зоны с вертикальной ориентацией. Этот метод отличается от CZ(Чохральского), который использует кристалл-заготовку в качестве затравки для выращивания монокристалла кремния. Плавающая зона обеспечивает однородное легирование, низкое удельное сопротивление, ограниченный набор примесей, долгий срок службы носителей и высокую чистоту кремния. Кремний с плавающей зоной FZ является высокочистой альтернативой CZ и подходит для производства электронных компонентов, таких как диоды, транзисторы, МОП-транзисторы, MEMS и другие.

FZ полированные кремниевые пластины 150мм

ООО ТК ОПОРА осуществляет поставки полированных кремниевых пластин FZ  под требования заказчика.

Стоимость и срок поставки рассчитываются индивидуально для каждого клиента.

Для оперативного расчета, просим высылать требования и количество пластин на почту: oprsale@gmail.com или oporasolar@gmail.com

Спецификация:

CLASS PARAMETER SPEC UNIT MIN MAX
 

GEN.

Growth Method FZ FZ
Orientation <100> deg <100>
Type/Dopant N/Phos N/Phos
 

ELEC.

Resistivity 10000-20000 Ω.cm 11000 19000
RRV <40 % <40
Lifetime >1500 µs 1500 2000
 

CHEM.

Oxygen Con’c <2 x E16 at/cm3 <2 x E16
Carbon Con’c <2 x E16 at/cm3 <2 x E16
Bulk Metal Con’c <1 x E12 at/cm3 <1 x E12
 

 

 

 

DIMEN.

Diameter 150 ± 0.2 mm 149.8 150.2
Primary Flat Length 57.5+7-2.5 mm 57.5+/-2.5mm
Primary Flat Orientation <110> deg <110>+/-1
Scondary Flat None None
Edge profile SEMI SEMI STD
Thickness Center Point 445-455 µm 450 455
TTV ≤40 µm 5 9
Bow ≤40 µm 22 37
Warp ≤40 µm 23 38
SURF. Front/Back Polished/Etched Polished/Etched
 

 

OTHER.

Scratches (Macro/Micro) None
Contamination
Orange Peel
Fracture/Saw Mark/Siurry rings/Edge chips
Dimple/Dislocation/Crack/Crow Feet

0.0 оценка
0
0
0
0
0

Сделайте первый отзыв о “FZ полированные кремниевые пластины 150мм”

Нет еще отзывов.

×
Заказать звонок