Кремниевые пластины 300мм "Test grade"
Предлагаем кремниевые пластины толщиной 300 мм (12 дюймов) высшего качества, типа n или p. 300 мм кремниевые пластины имеют более высокий выход на пластину, чем кремниевые пластины большого диаметра. Размер на / выше 8 дюймов (200 мм) называется большой кремниевой пластиной. Технология производства больших кремниевых пластин заключается не только в увеличении сложности процесса из-за увеличения площади, но и в повышении требований ко многим другим факторам управления. Например: содержание кислорода и его радиальная однородность в пластине, контроль примесей, контроль OISF и т. Д.
Пластины кремниевые 300мм “Test grade”:
|
Параметр |
Значение |
|
Тип используемого слитка |
Выращенный по методу Чохральского |
|
Диаметр, мм |
300 ± 0,2 |
|
Легирующая примесь |
B (бор) |
|
Тип проводимости |
P |
|
Кристаллографическая ориентация |
<100> |
|
Отклонение ориентации поверхности от заданной кристаллографической плоскости, град |
1 |
|
Удельное объемное сопротивление, Ом·см |
10-40 |
|
Первичный нотч |
Да |
|
Расположение нотча |
110 |
|
Размер нотча, мм |
2,3 |
|
Форма нотча |
V |
|
Толщина пластины, мкм |
775±25 |
|
Тип маркировки |
Лазерный |
|
Расположение маркировки |
Обратная сторона |
|
Профиль края |
По SEMI T/4 |
|
Царапины на лицевой стороне |
Отсутствуют |
|
Полировка лицевой стороны |
Да |
|
Полировка обратной стороны |
Да |
|
Общее изменение толщины по пластине (TTV), мкм |
5 |
|
Прогиб (WARP), мкм |
60 |
|
Количество частиц на поверхности размером более 0,09 мкм |
50 |
|
Поверхностное содержание Алюминия, E10AT/CM2 |
1 |
|
Упаковка: |
|
|
Тип упаковки |
FOUP 300EX/FOSB MW 300GT-A |
|
Материал внутреннего контейнера |
Полиэтилен |
|
Материал внешней упаковки |
Алюминий |
|
Количество штук в одной упаковке |
25 |
|
Возможность повторного использования |
Да |
| Parameters | Value |
| Type of ingot | Grown according to the Czochralski method |
| Diameter, mm | 300 ± 0,2 |
| Dopant | B (boron) |
| Conductivity type | P |
| Oxigen max, OLD-PPMA | 40 |
| Carbon , PPMA | 1 |
| Crystallographic orientation | <100> |
| Deviation from the predetermined surface orientation of crystal plane, deg | 1 |
| Volume resistivity, Ohm · cm | 10-40 |
| Primary Notch | Yes |
| Notch Location | 110 |
| Notch size, mm | 2,3 |
| Notch Form | V |
| Wafer thickness, microns | 775±25 |
| Type of marking | Laser |
| Marking Location | Back side |
| Edge profile | by SEMI T/4 |
| Scratches on the front side | absent |
| Front side polishing | yes |
| Back side polishing | yes |
| Total change in wafer thickness (TTV), micrometers | 5 |
| Deflection (WARP), microns | 60 |
| The number of particles on a surface larger than 0.09 microns | 50 |
| Surface content of aluminium, E10AT/CM2 | 1 |
Packing:
| Parameters | |
| Type of packaging | MW300GT-A |
| Inner Container Material | Polyethylene |
| Outer Packing Material | Aluminum |
| Number of pieces in one package | 25 |
| Reusability | yes |
Сделайте первый отзыв о “Кремниевые пластины 300мм Test Grade”
Вы должны войти, чтобы оставить отзыв.
Нет еще отзывов.