Кремниевые пластины 300мм Test Grade


Артикул: WTG-300

Кремниевые пластины 300мм "Test grade"

Предлагаем кремниевые пластины толщиной 300 мм (12 дюймов) высшего качества, типа n или p. 300 мм кремниевые пластины имеют более высокий выход на пластину, чем кремниевые пластины большого диаметра. Размер на / выше 8 дюймов (200 мм) называется большой кремниевой пластиной. Технология производства больших кремниевых пластин заключается не только в увеличении сложности процесса из-за увеличения площади, но и в повышении требований ко многим другим факторам управления. Например: содержание кислорода и его радиальная однородность в пластине, контроль примесей, контроль OISF и т. Д.

Пластины кремниевые 300мм “Test grade”:

Параметр

Значение

Тип используемого слитка

Выращенный по методу Чохральского

Диаметр, мм

300 ± 0,2

Легирующая примесь

B (бор)

Тип проводимости

P

Кристаллографическая ориентация

<100>

Отклонение ориентации поверхности от заданной кристаллографической плоскости, град

1

Удельное объемное сопротивление, Ом·см

10-40

Первичный нотч

Да

Расположение нотча

110

Размер нотча, мм

2,3

Форма нотча

V

Толщина пластины, мкм

775±25

Тип маркировки

Лазерный

Расположение маркировки

Обратная сторона

Профиль края

По SEMI T/4

Царапины на лицевой стороне

Отсутствуют

Полировка лицевой стороны

Да

Полировка обратной стороны

Да

Общее изменение толщины по пластине (TTV), мкм

5

Прогиб (WARP), мкм

60

Количество частиц на поверхности размером более 0,09 мкм

50

Поверхностное содержание Алюминия, E10AT/CM2

1

Упаковка:

 

Тип упаковки

FOUP 300EX/FOSB MW 300GT-A

Материал внутреннего контейнера

Полиэтилен

Материал внешней упаковки

Алюминий

Количество штук в одной упаковке

25

Возможность повторного использования

Да

 

Parameters Value
Type of ingot Grown according to the Czochralski method
Diameter, mm 300 ± 0,2
Dopant B (boron)
Conductivity type P
Oxigen max, OLD-PPMA 40
Carbon , PPMA 1
Crystallographic orientation <100>
Deviation from the predetermined surface orientation of crystal plane, deg 1
Volume resistivity, Ohm · cm 10-40
Primary Notch Yes
Notch Location 110
Notch size, mm 2,3
Notch Form V
Wafer thickness, microns 775±25
Type of marking Laser
Marking Location Back side
Edge profile by SEMI T/4
Scratches on the front side absent
Front side polishing yes
Back side polishing yes
Total change in wafer thickness (TTV), micrometers 5
Deflection (WARP), microns 60
The number of particles on a surface larger than 0.09 microns 50
Surface content of aluminium, E10AT/CM2 1

 

Packing:

Parameters  
Type of packaging MW300GT-A
Inner Container Material Polyethylene
Outer Packing Material Aluminum
Number of pieces in one package 25
Reusability yes
Артикул: WTG-300 Категория:

0.0 оценка
0
0
0
0
0

Сделайте первый отзыв о “Кремниевые пластины 300мм Test Grade”

Нет еще отзывов.

×
Заказать звонок